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Q&A

ウェハの外観検査における検査項目を教えてください。

ウェハの外観検査における検査項目は、主に以下の通りです。
 
・ウェハ表面の欠損・キズ
・ウェハ表面の異物
・ウェハ表面の汚れ
・レジスト塗布ムラ
 
これらの阻害要因が半導体チップとなった際に、不安定動作やショート、抵抗変動や耐圧劣化に繋がります。
ウェハの外観検査でお困りの方は、お気軽にウェハ検査装置・測定装置ラボ.comまでご連絡ください。

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