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ウェハ厚さ測定機(FTM-02型)

ウェハ厚さ測定機(FTM-02型)

ウェハ厚さ測定機(FTM-02型)

概要・特徴

概要

大口径のシリコンウェハ厚さ測定機です。(開発機)

ワークサイズ
φ18インチ
工程
-
ウェハ厚み
775μm
業界
自動車
素材
Si(シリコン)
特徴1
大口径のシリコンウェハ厚さ測定が可能
特徴2
レーザ変位計を使用し、非接触での厚さ測定が可能
特徴3

測定データは以下の3つの表示が可能
1.多点測定表示
2.断面厚さ測定表示
3.厚さ測定マップ表示

 

導入情報・効果

導入前~課題~
作業者により測定のばらつきが発生。
導入後~効果~
作業者による測定精度の誤差が解消された。

基本仕様・機械仕様

対象ワーク

Si(シリコン)

ワークサイズ φ18インチ
ワーク厚さ 775μm
設備形式 床設置式
設備環境 一般室
装置寸法 W850 x D900 x H1,120 (mm)
装置重量 350kg
電源電圧 単相 100V 50/60Hz共用
圧空 0.6MPa以上
真空 付属 真空ポンプ
測定センサ レーザ変位計
測定精度
繰り返し10回
標準偏差 1μm以下
測定ポイント レシピ多点測定
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