ウェハ厚さ測定機(FTM-02型)
概要・特徴
- 概要
大口径のシリコンウェハ厚さ測定機です。(開発機)
- ワークサイズ
- φ18インチ
- 工程
- -
- ウェハ厚み
- 775μm
- 業界
- 自動車
- 素材
- Si(シリコン)
- 特徴1
- 大口径のシリコンウェハ厚さ測定が可能
- 特徴2
- レーザ変位計を使用し、非接触での厚さ測定が可能
- 特徴3
-
測定データは以下の3つの表示が可能
1.多点測定表示
2.断面厚さ測定表示
3.厚さ測定マップ表示
導入情報・効果
- 導入前~課題~
- 作業者により測定のばらつきが発生。
- 導入後~効果~
- 作業者による測定精度の誤差が解消された。
基本仕様・機械仕様
対象ワーク | Si(シリコン) |
---|---|
ワークサイズ | φ18インチ |
ワーク厚さ | 775μm |
設備形式 | 床設置式 |
設備環境 | 一般室 |
装置寸法 | W850 x D900 x H1,120 (mm) |
装置重量 | 350kg |
電源電圧 | 単相 100V 50/60Hz共用 |
圧空 | 0.6MPa以上 |
真空 | 付属 真空ポンプ |
測定センサ | レーザ変位計 |
測定精度 | 繰り返し10回
標準偏差 1μm以下 |
測定ポイント | レシピ多点測定 |
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