ウェハ厚さ測定機(TMR-01型)
概要・特徴
- 概要
- φ12インチウェハをカセットから取り出し、設定したポイントの厚さを測定する装置です。
- ワークサイズ
- φ12インチ
- 工程
- ポリッシング工程
- ウェハ厚み
- 700 ~ 800μm
- 業界
- 電子部品
- 素材
- Si(シリコン)
- 特徴1
- ウェハはエッジクランプにて取扱い表裏面には接触しません。
- 特徴2
- φ12インチ ウェハを静電容量センサーにより多点の厚さを測定します。
- 特徴3
- ID読取り機能を付属します。
導入情報・効果
- 導入前~課題~
- 一工程に一人必要となっており、人の問題でコストアップを招いていた。
- 導入後~効果~
- 自動化装置導入により作業者が多くの仕事を行えるようになった。
基本仕様・機械仕様
対象ワーク | Si(シリコン) |
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ワークサイズ | φ12インチ |
ワーク厚さ | 700 ~ 800μm |
設備形式 | 床設置式 |
設置環境 | Class 1000 |
装置寸法 | W1,450 x D1,000 x H1,600 (mm) |
装置重量 | 450kg |
電源電圧 | 単相 100V 50/60Hz共用 |
圧空 | 0.5MPa以上 |
真空 | 付属 真空ポンプ |
測定センサ | 静電容量センサ |
測定精度 | 繰り返し10回
標準偏差 0.2μm以下 |
測定ポイント | 中心1点、十字5、9点測定 |
タクトタイム | φ12インチ 十字5点測定
60sec/枚 |