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ウェハ厚さ測定機(TMR-01型)

ウェハ厚さ測定機(TMR-01型)

ウェハ厚さ測定機(TMR-01型)

概要・特徴

概要
φ12インチウェハをカセットから取り出し、設定したポイントの厚さを測定する装置です。
ワークサイズ
φ12インチ
工程
ポリッシング工程
ウェハ厚み
700 ~ 800μm
業界
電子部品
素材
Si(シリコン)
特徴1
ウェハはエッジクランプにて取扱い表裏面には接触しません。
特徴2
φ12インチ ウェハを静電容量センサーにより多点の厚さを測定します。
特徴3
ID読取り機能を付属します。

導入情報・効果

導入前~課題~
一工程に一人必要となっており、人の問題でコストアップを招いていた。
導入後~効果~
自動化装置導入により作業者が多くの仕事を行えるようになった。

基本仕様・機械仕様

対象ワーク Si(シリコン)
ワークサイズ φ12インチ
ワーク厚さ 700 ~ 800μm
設備形式 床設置式
設置環境 Class 1000
装置寸法 W1,450 x D1,000 x H1,600 (mm)
装置重量 450kg
電源電圧 単相 100V 50/60Hz共用
圧空 0.5MPa以上
真空 付属 真空ポンプ
測定センサ 静電容量センサ
測定精度
繰り返し10回
標準偏差 0.2μm以下
測定ポイント 中心1点、十字5、9点測定
タクトタイム
φ12インチ 十字5点測定
60sec/枚

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