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手動厚さ測定機(STM-05型)

手動厚さ測定機(STM-05型)

手動厚さ測定機(STM-05型)
手動厚さ測定機(STM-05型)

概要・特徴

概要
φ4~6インチのSi、SiC等ウェハの厚さ測定を、手動で行う装置です。
ワークサイズ
φ4、5、6インチ
工程
ポリッシング工程
ウェハ厚み
50 ~ 625μm
業界
電子部品
素材
Si(シリコン)
特徴1
本装置により、作業者がマイクロメータ等で測定することにより生じるバラつきを防ぎ、高精度で安定した測定を行うことが可能になります。加工中間工程にてご使用いただければ、製品の品質向上にお役立ていただけます。
特徴2
卓上式で簡単に設置できます。本体を机上、制御盤は床上設置のような使い方も可能です。
特徴3
装置の操作とデータ保存はパソコン上で行ないます。ウィンドウズ上で動作する使いやすいソフトウェアです。

導入情報・効果

導入前~課題~
作業者により測定のばらつきが発生
導入後~効果~
作業者による測定精度の誤差が解消された。

基本仕様・機械仕様

対象ワーク Si(シリコン)
ワークサイズ φ4、5、6インチ
ワーク厚さ 50 ~ 625μm
設備形式 卓上式
設置環境 Class 1000
装置寸法 W200D340H236 (mm)
装置重量 14kg
電源電圧 単相 100V 50/60Hz共用
圧空 0.3MPa以上
真空 -50KPa
測定センサ デジタルゲージ
測定精度
繰り返し10回
標準偏差 0.2μm以下
測定ポイント 任意多点測定

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