手動厚さ測定機（STM-05型）
概要・特徴
- 概要
- φ4～6インチのSi、SiC等ウェハの厚さ測定を、手動で行う装置です。
- ワークサイズ
- φ4、5、6インチ
- 工程
- ポリッシング工程
- ウェハ厚み
- 50 ～ 625μm
- 業界
- 電子部品
- 素材
- Si（シリコン）
- 特徴1
- 本装置により、作業者がマイクロメータ等で測定することにより生じるバラつきを防ぎ、高精度で安定した測定を行うことが可能になります。加工中間工程にてご使用いただければ、製品の品質向上にお役立ていただけます。
- 特徴2
- 卓上式で簡単に設置できます。本体を机上、制御盤は床上設置のような使い方も可能です。
- 特徴3
- 装置の操作とデータ保存はパソコン上で行ないます。ウィンドウズ上で動作する使いやすいソフトウェアです。
導入情報・効果
- 導入前～課題～
- 作業者により測定のばらつきが発生
- 導入後～効果～
- 作業者による測定精度の誤差が解消された。
基本仕様・機械仕様
| 対象ワーク | Si（シリコン） |
|---|---|
| ワークサイズ | φ4、5、6インチ |
| ワーク厚さ | 50 ～ 625μm |
| 設備形式 | 卓上式 |
| 設置環境 | Class 1000 |
| 装置寸法 | W200 x D340 x H236 (mm) |
| 装置重量 | 14kg |
| 電源電圧 | 単相 100V 50/60Hz共用 |
| 圧空 | 0.3MPa以上 |
| 真空 | -50KPa |
| 測定センサ | デジタルゲージ |
| 測定精度 | 繰り返し10回
標準偏差 0.2μm以下 |
| 測定ポイント | 任意多点測定 |
