手動厚さ測定機(STM-05型)
概要・特徴
- 概要
- φ4~6インチのSi、SiC等ウェハの厚さ測定を、手動で行う装置です。
- ワークサイズ
- φ4、5、6インチ
- 工程
- ポリッシング工程
- ウェハ厚み
- 50 ~ 625μm
- 業界
- 電子部品
- 素材
- Si(シリコン)
- 特徴1
- 本装置により、作業者がマイクロメータ等で測定することにより生じるバラつきを防ぎ、高精度で安定した測定を行うことが可能になります。加工中間工程にてご使用いただければ、製品の品質向上にお役立ていただけます。
- 特徴2
- 卓上式で簡単に設置できます。本体を机上、制御盤は床上設置のような使い方も可能です。
- 特徴3
- 装置の操作とデータ保存はパソコン上で行ないます。ウィンドウズ上で動作する使いやすいソフトウェアです。
導入情報・効果
- 導入前~課題~
- 作業者により測定のばらつきが発生
- 導入後~効果~
- 作業者による測定精度の誤差が解消された。
基本仕様・機械仕様
対象ワーク | Si(シリコン) |
---|---|
ワークサイズ | φ4、5、6インチ |
ワーク厚さ | 50 ~ 625μm |
設備形式 | 卓上式 |
設置環境 | Class 1000 |
装置寸法 | W200 x D340 x H236 (mm) |
装置重量 | 14kg |
電源電圧 | 単相 100V 50/60Hz共用 |
圧空 | 0.3MPa以上 |
真空 | -50KPa |
測定センサ | デジタルゲージ |
測定精度 | 繰り返し10回
標準偏差 0.2μm以下 |
測定ポイント | 任意多点測定 |