手動厚さ測定機（STM-06型）
概要・特徴
- 概要
- ウェハの厚さ測定を行う装置です。厚さ測定は、共焦点色収差センサを用い、片側測定にてブロックゲージまたは基準ウェハとの差により、測定対象ウェハの厚さ測定を行います。
- ワークサイズ
- φ4、5、6インチ
- 工程
- ポリッシング工程
- ウェハ厚み
- 80 ～ 1,500μm
- 業界
- 電子部品
- 素材
- Si（シリコン）
- 特徴1
- 手動式のハンドルと目盛により、決められた位置の測定が可能となります。
- 特徴2
- ウェハを真空吸着によりステージ上に固定します。測定によるキズ等を防ぎます。
- 特徴3
-
測定したデータは付属パソコンのEXCELファイルに保存されます。
PC上では測定結果を見やすく表示します。
ご要望によりマップ表示等も対応可能です。
導入情報・効果
- 導入前～課題～
- 作業者により測定のばらつきが発生。
- 導入後～効果～
- 作業者による測定精度の誤差が解消された。
基本仕様・機械仕様
| 対象ワーク | Si（シリコン） |
|---|---|
| ワークサイズ | φ4、5、6インチ |
| ワーク厚さ | 80 ～ 1,500μm |
| 設備形式 | 卓上式 |
| 設置環境 | Class 1000 |
| 装置寸法 | W426 x D548 x H323 (mm) |
| 装置重量 | 70kg |
| 電源電圧 | 単相 100V 50/60Hz共用 |
| 真空 | -50KPa |
| 測定センサ | 色収差共焦点センサ |
| 測定精度 | 繰り返し10回
標準偏差 0.1μm以下 |
| 測定ポイント | 任意多点測定 |
