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手動厚さ測定機(STM-06型)

手動厚さ測定機(STM-06型)

手動厚さ測定機(STM-06型)

概要・特徴

概要
ウェハの厚さ測定を行う装置です。厚さ測定は、共焦点色収差センサを用い、片側測定にてブロックゲージまたは基準ウェハとの差により、測定対象ウェハの厚さ測定を行います。
ワークサイズ
φ4、5、6インチ
工程
ポリッシング工程
ウェハ厚み
80 ~ 1,500μm
業界
電子部品
素材
Si(シリコン)
特徴1
手動式のハンドルと目盛により、決められた位置の測定が可能となります。
特徴2
ウェハを真空吸着によりステージ上に固定します。測定によるキズ等を防ぎます。
特徴3
測定したデータは付属パソコンのEXCELファイルに保存されます。
PC上では測定結果を見やすく表示します。
ご要望によりマップ表示等も対応可能です。

導入情報・効果

導入前~課題~
作業者により測定のばらつきが発生。
導入後~効果~
作業者による測定精度の誤差が解消された。

基本仕様・機械仕様

対象ワーク Si(シリコン)
ワークサイズ φ4、5、6インチ
ワーク厚さ 80 ~ 1,500μm
設備形式 卓上式
設置環境 Class 1000
装置寸法 W426 x D548 x H323 (mm)
装置重量 70kg
電源電圧 単相 100V 50/60Hz共用
真空 -50KPa
測定センサ 色収差共焦点センサ
測定精度
繰り返し10回
標準偏差 0.1μm以下
測定ポイント
任意多点測定

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