自動キャリア厚さ測定機(CME-06型)
概要・特徴
- 概要
- ラップ/ポリッシュ用キャリアの厚さを測定する装置です。
- ワークサイズ
- φ200、300、450、525mm
- 工程
- ポリッシング工程
- ウェハ厚み
- 750μm程度
- 業界
- 電子部品
- 素材
- SUS等
- 特徴1
- 測定テーブル上の位置決めピンを移動することにより4種類のワークに対応
- 特徴2
- セレクタ操作により、Y(前後方向)は自動で位置決めが可能
- 特徴3
- 測定するワークのサイズ、材質、測定ポイント等はご相談ください。
導入情報・効果
- 導入前~課題~
- 作業者により測定のばらつきが発生
- 導入後~効果~
- 作業者による測定精度の誤差が解消された。
基本仕様・機械仕様
対象ワーク | SUSキャリア |
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ワークサイズ | φ200、300、450、525mm |
ワーク厚さ | 750μm程度 |
設備形式 | 床設置式 |
設置環境 | Class 1000 |
装置寸法 | W700 x D1,100 x H1,045 (mm) |
装置重量 | 200kg |
電源電圧 | 単相 100V 50/60Hz共用 |
圧空 | 0.4MPa以上 |
測定センサ | デジタルゲージ |
測定精度 | 繰り返し10回
標準偏差 0.1μm以下 |
測定ポイント | 任意多点測定 |