キャリア測定,キャリア検査,キャリア厚み測定,"> 手動キャリア厚さ測定機(CME-05型)

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手動キャリア厚さ測定機(CME-05型)

手動キャリア厚さ測定機(CME-05型)

手動キャリア厚さ測定機(CME-05型)
手動キャリア厚さ測定機(CME-05型)

概要・特徴

概要
ラップ/ポリッシュ用キャリアの厚さを測定する装置です。
ワークサイズ
φ525、810mm
工程
ポリッシング工程
ウェハ厚み
750μm程度
業界
電子部品
素材
SUS等
特徴1
ワークへの帯電防止のため測定台は導電性樹脂板を使用しています。
特徴2
ブレやたわみによる誤差を低減するため門型構造とします。
特徴3
測定するキャリアのサイズ、材質、測定ポイント等はご相談ください。

導入情報・効果

導入前~課題~
作業者により測定のばらつきが発生
導入後~効果~
作業者による測定精度の誤差が解消された。

基本仕様・機械仕様

対象ワーク SUSキャリア
ワークサイズ φ525、810mm
ワーク厚さ 750μm程度
設備形式 床設置式
設置環境 Class 1000
装置寸法 W1,000D1,300H1,000 (mm)
装置重量 150kg
電源電圧
単相 100V 50/60Hz共用
圧空 0.4MPa以上
測定センサ デジタルゲージ
測定精度
繰り返し10回
標準偏差 0.1μm以下
測定ポイント 任意多点測定

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