ウェハ厚さ測定機(TME-07型)
概要・特徴
- 概要
- 静電容量センサーを用いた非接触式でのウェハ厚さ測定を行う装置です。
- ワークサイズ
- φ4、5、6、8インチ
- 工程
- エッジング工程
- ウェハ厚み
- 100 ~ 1,800μm
- 業界
- 自動車
- 素材
- Si(シリコン)
- 特徴1
- 静電容量センサーにより非接触にて、ウェハ厚さ測定
- 特徴2
- レシピ設定によりウェハサイズ変更が可能で、段取り換え作業は不要
- 特徴3
- 測定ポイントは中心1点、十字測定をレシピにて設定。十字測定時のポイント数、位置の指定も可能
導入情報・効果
- 導入前~課題~
- 一工程に一人必要となっており、人の問題でコストアップを招いていた。
- 導入後~効果~
- 自動化装置導入により作業者が多くの仕事を行えるようになった。
基本仕様・機械仕様
対象ワーク | Si(シリコン) |
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ワークサイズ | φ4、5、6、8インチ |
ワーク厚さ | 100 ~ 1,800μm |
設備形式 | 床設置式 |
設置環境 | Class 1000 |
装置寸法 | W1,000 x D900 x H2,000 (mm) |
装置重量 | 350kg |
電源電圧 | 三相 200V 50/60Hz共用 |
真空 | 付属 真空ポンプ |
測定センサ | 静電容量センサ |
測定精度 | 繰り返し10回
標準偏差 0.2μm以下 |
測定ポイント | 中心1点、十字5、9点測定 |
タクトタイム | φ6インチ 十字5点測定
30sec/枚 |