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ウェハ厚さ測定機(TME-07型)

ウェハ厚さ測定機(TME-07型)

ウェハ厚さ測定機(TME-07型)

概要・特徴

概要
静電容量センサーを用いた非接触式でのウェハ厚さ測定を行う装置です。
ワークサイズ
φ4、5、6、8インチ
工程
エッジング工程
ウェハ厚み
100 ~ 1,800μm
業界
自動車
素材
Si(シリコン)
特徴1
静電容量センサーにより非接触にて、ウェハ厚さ測定
特徴2
レシピ設定によりウェハサイズ変更が可能で、段取り換え作業は不要
特徴3
測定ポイントは中心1点、十字測定をレシピにて設定。十字測定時のポイント数、位置の指定も可能

導入情報・効果

導入前~課題~
一工程に一人必要となっており、人の問題でコストアップを招いていた。
導入後~効果~
自動化装置導入により作業者が多くの仕事を行えるようになった。

基本仕様・機械仕様

対象ワーク Si(シリコン)
ワークサイズ φ4、5、6、8インチ
ワーク厚さ 100 ~ 1,800μm
設備形式 床設置式
設置環境 Class 1000
装置寸法 W1,000 x D900 x H2,000 (mm)
装置重量 350kg
電源電圧 三相 200V 50/60Hz共用
真空 付属 真空ポンプ
測定センサ 静電容量センサ
測定精度
繰り返し10回
標準偏差 0.2μm以下
測定ポイント 中心1点、十字5、9点測定
タクトタイム
φ6インチ 十字5点測定
30sec/枚

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