ウェハ厚さ仕分機(WTS-05型)
概要・特徴
- 概要
- ウェハの厚さ測定を行い、その厚さに応じて並べ替えを行う装置です。
- ワークサイズ
- φ4、6インチ
- 工程
- ラッピング工程
- ウェハ厚み
- 600 ～ 1,600μm
- 業界
- 電子部品
- 素材
- サファイア
- 特徴1
-
仕分けすることにより厚さ異常のウェハが次工程に流出することを防ぎます。
ウェハ加工前後で厚さを測定することにより加工状態の管理も行えます。
- 特徴2
- カセットごとの厚さをそろえることにより、次工程での加工品質が向上します。厚さ仕分け区分は任意に設定が可能です。
- 特徴3
- 測定したデータは付属パソコンのEXCELファイルに保存されます。保存のフォーマットは様々なご要望に応じることが可能
導入情報・効果
- 導入前～課題～
- 一工程に一人必要となっており、人の問題でコストアップを招いていた。
- 導入後～効果～
- 自動化装置導入により作業者が多くの仕事を行えるようになった。
基本仕様・機械仕様
| 対象ワーク | Si（シリコン）、SiC |
|---|---|
| ワークサイズ | φ4、6インチ |
| ワーク厚さ | 600 ～ 1,600μm |
| 設備形式 | 床設置式 |
| 設置環境 | Class 1000 |
| 装置寸法 | W1,450 x D1,200 x H1,800 (mm) |
| 装置重量 | 500kg |
| 電源電圧 | 三相 200V 50/60Hz共用 |
| 圧空 | 0.5MPa以上 |
| 真空 | 付属 真空ポンプ |
| 測定センサ | デジタルゲージ |
| 測定精度 | 繰り返し10回 最大値-最小値 1.4μm以内 |
| 測定ポイント | 直線3点 |
| タクトタイム | ウェハ稼働率 75%
250枚処理
15sec/枚 |
| 搬送方式 | ツインアームクリーンロボット 1基 |
| 搭載可能キャリア数 | ローダ1個/アンローダ8個 |
