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直径測定器(DMC-02型)

直径測定器(DMC-02型)

直径測定器(DMC-02型)
直径測定器(DMC-02型)

概要・特徴

概要
Green LED光にてウェハ端面の検出を行い、校正用ウェハ(基準ウェハ)との比較によりウェハ直径を測定する装置です。
ワークサイズ
φ8インチ
工程
ラッピング工程
ウェハ厚み
300 ~ 1,000μm
業界
電子部品
素材
Si(シリコン)
特徴1
ステージを回転する事で、A直径(3ポイント)・B直径を測定することが出来ます。
特徴2
従来、ノギス等で測定するため発生していた、作業者による測定のばらつきを抑えることができます。
特徴3
非接触にて測定を行うことで、ウェハへのキズ発生や汚染を防ぐことが可能となります。

導入情報・効果

導入前~課題~
作業者により測定のばらつきが発生。
導入後~効果~
作業者による測定精度の誤差が解消された。

基本仕様・機械仕様

対象ワーク Si(シリコン)
ワークサイズ φ8インチ
ワーク厚さ 300 ~ 1,000μm
設備形式 卓上式
設置環境 Class 1000
装置寸法 W317 x D555 x H560 (mm)
装置重量 60kg
電源電圧 単相 100V 50/60Hz共用
圧空 0.5MPa以上
測定センサ 光学式センサ
測定精度
繰り返し10回
標準偏差 4μm以下

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