直径測定器(DMC-02型)
概要・特徴
- 概要
- Green LED光にてウェハ端面の検出を行い、校正用ウェハ（基準ウェハ）との比較によりウェハ直径を測定する装置です。
- ワークサイズ
- φ8インチ
- 工程
- ラッピング工程
- ウェハ厚み
- 300 ～ 1,000μm
- 業界
- 電子部品
- 素材
- Si（シリコン）
- 特徴1
- ステージを回転する事で、A直径（3ポイント）・B直径を測定することが出来ます。
- 特徴2
- 従来、ノギス等で測定するため発生していた、作業者による測定のばらつきを抑えることができます。
- 特徴3
- 非接触にて測定を行うことで、ウェハへのキズ発生や汚染を防ぐことが可能となります。
導入情報・効果
- 導入前～課題～
- 作業者により測定のばらつきが発生。
- 導入後～効果～
- 作業者による測定精度の誤差が解消された。
基本仕様・機械仕様
| 対象ワーク | Si（シリコン） |
|---|---|
| ワークサイズ | φ8インチ |
| ワーク厚さ | 300 ～ 1,000μm |
| 設備形式 | 卓上式 |
| 設置環境 | Class 1000 |
| 装置寸法 | W317 x D555 x H560 (mm) |
| 装置重量 | 60kg |
| 電源電圧 | 単相 100V 50/60Hz共用 |
| 圧空 | 0.5MPa以上 |
| 測定センサ | 光学式センサ |
| 測定精度 | 繰り返し10回
標準偏差 4μm以下 |
