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P/N判定・比抵抗測定仕分け装置(CJT-01型)

P/N判定・比抵抗測定仕分け装置(CJT-01型)

P/N判定・比抵抗測定仕分け装置(CJT-01型)
P/N判定・比抵抗測定仕分け装置(CJT-01型)

概要・特徴

概要
ウェハの厚さ測定、表裏面P/N判定、比抵抗測定を行い
、設定したカセットにウェハを仕分けます。
ワークサイズ
φ4、5、6、8インチ
工程
ラッピング工程
ウェハ厚み
300 ~ 800μm
業界
電子部品
素材
Si(シリコン)
特徴1
厚さ測定のみ、P/N判定のみ、比抵抗測定のみなど、レシピの設定次第で何通りもの仕分け動作を選択できます。
特徴2
測定したデータは付属パソコンのEXCELファイルに保存。保存のフォーマットは様々なご要望に応じることが可能です。

導入情報・効果

導入前~課題~
作業者により測定のばらつきが発生。
導入後~効果~
作業者による測定精度の誤差が解消された。

基本仕様・機械仕様

対象ワーク Si(シリコン)
ワークサイズ φ4、5、6、8インチ
ワーク厚さ 300 ~ 800μm
設備形式 床設置式
設置環境 Class 1000
装置寸法 W1,200 x D1,300 x H1,455 (mm)
装置重量 500kg
電源電圧 三相 200V 50/60Hz共用
圧空 0.5MPa以上
真空 付属 真空ポンプ
厚さ測定
デジタルゲージ
 
[測定精度]
繰り返し10回
繰り返し精度 ±0.7μm以内
 
[測定ポイント]
中心1点
抵抗測定
四探針
 
[測定精度]
繰り返し10回
繰り返し精度 標準値±3%以内
 
[測定ポイント]
中心1点
タクトタイム
φ6インチ 十字5点測定
55sec/枚
搬送方式 シングルアームクリーンロボット 1基
搭載可能キャリア数 ローダ1個/アンローダ4個

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