P/N判定・比抵抗測定仕分け装置（CJT-01型）
概要・特徴
- 概要
- ウェハの厚さ測定、表裏面P/N判定、比抵抗測定を行い
、設定したカセットにウェハを仕分けます。
- ワークサイズ
- φ4、5、6、8インチ
- 工程
- ラッピング工程
- ウェハ厚み
- 300 ～ 800μm
- 業界
- 電子部品
- 素材
- Si（シリコン）
- 特徴1
- 厚さ測定のみ、P/N判定のみ、比抵抗測定のみなど、レシピの設定次第で何通りもの仕分け動作を選択できます。
- 特徴2
- 測定したデータは付属パソコンのEXCELファイルに保存。保存のフォーマットは様々なご要望に応じることが可能です。
導入情報・効果
- 導入前～課題～
- 作業者により測定のばらつきが発生。
- 導入後～効果～
- 作業者による測定精度の誤差が解消された。
基本仕様・機械仕様
| 対象ワーク | Si（シリコン） |
|---|---|
| ワークサイズ | φ4、5、6、8インチ |
| ワーク厚さ | 300 ～ 800μm |
| 設備形式 | 床設置式 |
| 設置環境 | Class 1000 |
| 装置寸法 | W1,200 x D1,300 x H1,455 (mm) |
| 装置重量 | 500kg |
| 電源電圧 | 三相 200V 50/60Hz共用 |
| 圧空 | 0.5MPa以上 |
| 真空 | 付属 真空ポンプ |
| 厚さ測定 | デジタルゲージ
[測定精度]
繰り返し10回
繰り返し精度 ±0.7μm以内
[測定ポイント]
中心1点 |
| 抵抗測定 | 四探針法
[測定精度]
繰り返し10回
繰り返し精度 標準値±3%以内
[測定ポイント]
中心1点 |
| タクトタイム | φ6インチ 十字5点測定
55sec/枚 |
| 搬送方式 | シングルアームクリーンロボット 1基 |
| 搭載可能キャリア数 | ローダ1個/アンローダ4個 |
