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ウェハ厚さ測定機(TME-05型)

ウェハ厚さ測定機(TME-05型)

ウェハ厚さ測定機(TME-05型)
ウェハ厚さ測定機(TME-05型)

概要・特徴

概要
ガラス板に貼り付けられたSiCウェハの厚みと接着剤の厚み測定及び、ウェハ単体の厚みを測定する装置です。
ワークサイズ
φ3、4、5、6インチ
工程
バックグラインド工程
ウェハ厚み
100 ~ 1,800μm
業界
電子部品
素材
Si(シリコン)、SiC
特徴1
ポーラスチャック式ウェハステージを採用し、薄いウェハを均一保持
特徴2
測定データは、付属パソコンのモニタ表示の他、CSV形式で保存。グラフィカル表示も可能。
特徴3
カメラによる外観撮像が可能です。
オプションにて承ります。
お気軽にご相談ください。

導入情報・効果

導入前~課題~
作業者により測定のばらつきが発生。
導入後~効果~
作業者による測定精度の誤差が解消された。

基本仕様・機械仕様

対象ワーク Si(シリコン)、SiC
ワークサイズ φ3、4、5、6インチ
ワーク厚さ 100 ~ 1,800μm
設備形式 床設置式
設置環境 Class 1000
装置寸法 W800 x D800 x H1,865 (mm)
装置重量 300kg
電源電圧 単相 100V 50/60Hz共用
真空 付属 真空ポンプ
測定センサ 分光干渉センサ
測定精度
繰り返し10回
標準偏差 ±0.5μm以内
測定ポイント レシピ多点測定
タクトタイム
φ6インチ 十字5点測定
12sec/枚

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