石英ガラス欠陥検査装置(GIM-01型)
概要・特徴
- 概要
- 大型石英ガラスの欠陥検査と欠陥位置の座標データ保存を行う装置です。
- ワークサイズ
- 1,300 × 1,500 ｍｍ
- 工程
- 洗浄工程
- ウェハ厚み
- 5 ～ 15ｍｍ
- 業界
- 電子部品
- 素材
- ガラス
- 特徴1
- 集光灯はワークから200mmの距離で最大45度の照射角でワークを照射できる
- 特徴2
- XYアームはガラスの表裏両面方向（Y軸）に移動でき、移動の時ガラスに触れる事がない様インタロックを設けています。
- 特徴3
- 座標データは付属パソコンに取り込みます。
導入情報・効果
- 導入前～課題～
- 人が介在することで作業時にワークに破損が見られた。
- 導入後～効果～
- 手作業の取り扱いによるワーク破損が無くなった。
基本仕様・機械仕様
| 対象ワーク | 石英ガラス |
|---|---|
| ワークサイズ | 1,300 x 1,500mm |
| ワーク厚さ | 5 ～ 15mm |
| 設備形式 | 床設置式 |
| 設置環境 | Class 100 |
| 装置寸法 | W4,850 x D1,700 x H3,500 (mm) |
| 装置重量 | 2,000kg |
| 電源電圧 | 単相 100V 50/60Hz共用 |
| 圧空 | 0.5MPa以上 |
| 検査方法 | 目視検査 |
| 検査範囲 | X方向 st 2,500mm
Y方向 st 1,530mm
Z方向 st 1,600mm |
| 光源 | ハロゲン光 |
| その他 | 付属PCによる座標取り込み |
