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石英ガラス欠陥検査装置(GIM-01型)

石英ガラス欠陥検査装置(GIM-01型)

石英ガラス欠陥検査装置(GIM-01型)

概要・特徴

概要
大型石英ガラスの欠陥検査と欠陥位置の座標データ保存を行う装置です。
ワークサイズ
1,300 × 1,500 mm
工程
洗浄工程
ウェハ厚み
5 ~ 15mm
業界
電子部品
素材
ガラス
特徴1
集光灯はワークから200mmの距離で最大45度の照射角でワークを照射できる
特徴2
XYアームはガラスの表裏両面方向(Y軸)に移動でき、移動の時ガラスに触れる事がない様インタロックを設けています。
特徴3
座標データは付属パソコンに取り込みます。

導入情報・効果

導入前~課題~
人が介在することで作業時にワークに破損が見られた。
導入後~効果~
手作業の取り扱いによるワーク破損が無くなった。

基本仕様・機械仕様

対象ワーク 石英ガラス
ワークサイズ 1,300 x 1,500mm
ワーク厚さ 5 ~ 15mm
設備形式 床設置式
設置環境 Class 100
装置寸法 W4,850 x D1,700 x H3,500 (mm)
装置重量 2,000kg
電源電圧 単相 100V 50/60Hz共用
圧空 0.5MPa以上
検査方法 目視検査
検査範囲
X方向 st 2,500mm
Y方向 st 1,530mm
Z方向 st 1,600mm
光源 ハロゲン光
その他 付属PCによる座標取り込み

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