ウェハ表面検査装置（VSI-01型）
概要・特徴
- 概要
- ポリッシュ後ウェハの表面異物検査を行う装置です。また、異物のほかに、表面欠陥やキズ、表面粗さの検査も行えます。
- ワークサイズ
- φ5、6インチ
- 工程
- 検査工程
- ウェハ厚み
- 700 ～ 800μm
- 業界
- 電子部品
- 素材
- Si（シリコン）
- 特徴1
- 散乱光検出方式によりφ0.2μm以上の異物を検出します。
- 特徴2
- 裏面真空吸着とし、ウェハ表面には接触しません。
- 特徴3
- ウェハサイズはご相談下さい。
導入情報・効果
- 導入前～課題～
- 生産性アップを課題として考えていた。
- 導入後～効果～
- 競合他社装置よりタクト短縮され生産性が向上した。
基本仕様・機械仕様
| 対象ワーク | Si（シリコン） |
|---|---|
| ワークサイズ | φ5、6インチ |
| ワーク厚さ | 700 ～ 800μm |
| 設備形式 | 床設置式 |
| 設置環境 | Class 100 |
| 装置寸法 | W600 x D800 x H1,320 (mm) |
| 装置重量 | 300kg |
| 電源電圧 | 単相 100V 50/60Hz共用 |
| 圧空 | 0.5MPa以上 |
| 検査方法 | 散乱光検出方式 |
| 検査範囲 | ウェハ表面（外周部除外領域有り） |
| 光源 | レーザダイオード光源 |
