顕微鏡ローダー(MWL-01型)
概要・特徴
- 概要
- ウェハのマクロ検査及び、顕微鏡によるミクロ検査を行う装置です。
- ワークサイズ
- φ8インチ
- 工程
- バックグラインド工程
- ウェハ厚み
- 100 ~ 1,000μm
- 業界
- 電子部品
- 素材
- Si(シリコン)
- 特徴1
- マクロ検査は外周チャックを採用し、ジョイスティックにてワークを傾け、水平回転操作を行うことにより、裏面の検査が行えます。
- 特徴2
- 移載ロボットはベルヌーイ式ハンドを採用し、薄く、ソリのあるワークの搬送が可能です。
- 特徴3
- FFU(PTFE仕様)搭載、オールステンレスフレーム採用により高クリーン環境に対応可能です。
導入情報・効果
- 導入前~課題~
- 人が介在することで作業時にウェハに破損が見られた。
- 導入後~効果~
- 手作業の取り扱いによるウェハ破損が無くなった。
基本仕様・機械仕様
対象ワーク | Si(シリコン) |
---|---|
ワークサイズ | φ8インチ |
ワーク厚さ | 100 ~ 1,000μm |
設備形式 | 床設置式 |
設置環境 | Class 100 |
装置寸法 | W1,850 x D1,800 x H2,400 (mm) |
装置重量 | 450kg |
電源電圧 | 三相 200V 50/60Hz共用 |
圧空 | 0.5MPa以上 |
真空 | -50kPa以上 |
マクロ検査 | 目視検査(裏面含む) |
ミクロ検査 | 顕微鏡検査 |
顕微鏡 | ①オートフォーカス付き
②対物レンズ:5/10/20/50/100
③オートフォーカス付き
④1,728万画素デジタルカメラ付き |
タクトタイム | Total:142sec/枚
①カセット取出→マクロ検査部受渡 22sec
②マクロ検査(裏面含む)20sec
③マクロ検査部→ミクロ検査部搬送(アライメント含む)50sec
④ミクロ検査(5点測定)30sec
⑤ミクロ検査部→カセット収納 20sec |
搬送方式 | 反転機能付きシングルアーム
クリーンロボット 1基 |
搭載可能キャリア数 | ローダ/アンローダ兼用2個 |