顕微鏡ローダー(MWL-01型)
概要・特徴
- 概要
- ウェハのマクロ検査及び、顕微鏡によるミクロ検査を行う装置です。
- ワークサイズ
- φ8インチ
- 工程
- バックグラインド工程
- ウェハ厚み
- 100 ～ 1,000μm
- 業界
- 電子部品
- 素材
- Si（シリコン）
- 特徴1
- マクロ検査は外周チャックを採用し、ジョイスティックにてワークを傾け、水平回転操作を行うことにより、裏面の検査が行えます。
- 特徴2
- 移載ロボットはベルヌーイ式ハンドを採用し、薄く、ソリのあるワークの搬送が可能です。
- 特徴3
- FFU(PTFE仕様)搭載、オールステンレスフレーム採用により高クリーン環境に対応可能です。
導入情報・効果
- 導入前～課題～
- 人が介在することで作業時にウェハに破損が見られた。
- 導入後～効果～
- 手作業の取り扱いによるウェハ破損が無くなった。
基本仕様・機械仕様
| 対象ワーク | Si（シリコン） |
|---|---|
| ワークサイズ | φ8インチ |
| ワーク厚さ | 100 ～ 1,000μm |
| 設備形式 | 床設置式 |
| 設置環境 | Class 100 |
| 装置寸法 | W1,850 x D1,800 x H2,400 (mm) |
| 装置重量 | 450kg |
| 電源電圧 | 三相 200V 50/60Hz共用 |
| 圧空 | 0.5MPa以上 |
| 真空 | -50kPa以上 |
| マクロ検査 | 目視検査(裏面含む） |
| ミクロ検査 | 顕微鏡検査 |
| 顕微鏡 | ①オートフォーカス付き
②対物レンズ：5/10/20/50/100
③オートフォーカス付き
④1,728万画素デジタルカメラ付き |
| タクトタイム | Total：142sec/枚
①カセット取出→マクロ検査部受渡 22sec
②マクロ検査(裏面含む）20sec
③マクロ検査部→ミクロ検査部搬送(アライメント含む）50sec
④ミクロ検査(5点測定）30sec
⑤ミクロ検査部→カセット収納 20sec |
| 搬送方式 | 反転機能付きシングルアーム
クリーンロボット 1基 |
| 搭載可能キャリア数 | ローダ/アンローダ兼用2個 |
