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顕微鏡ローダー(MWL-01型)

顕微鏡ローダー(MWL-01型)

顕微鏡ローダー(MWL-01型)
顕微鏡ローダー(MWL-01型)

概要・特徴

概要
ウェハのマクロ検査及び、顕微鏡によるミクロ検査を行う装置です。
ワークサイズ
φ8インチ
工程
バックグラインド工程
ウェハ厚み
100 ~ 1,000μm
業界
電子部品
素材
Si(シリコン)
特徴1
マクロ検査は外周チャックを採用し、ジョイスティックにてワークを傾け、水平回転操作を行うことにより、裏面の検査が行えます。
特徴2
移載ロボットはベルヌーイ式ハンドを採用し、薄く、ソリのあるワークの搬送が可能です。
特徴3
FFU(PTFE仕様)搭載、オールステンレスフレーム採用により高クリーン環境に対応可能です。

導入情報・効果

導入前~課題~
人が介在することで作業時にウェハに破損が見られた。
導入後~効果~
手作業の取り扱いによるウェハ破損が無くなった。

基本仕様・機械仕様

対象ワーク Si(シリコン)
ワークサイズ φ8インチ
ワーク厚さ 100 ~ 1,000μm
設備形式 床設置式
設置環境 Class 100
装置寸法 W1,850 x D1,800 x H2,400 (mm)
装置重量 450kg
電源電圧 三相 200V 50/60Hz共用
圧空 0.5MPa以上
真空 -50kPa以上
マクロ検査 目視検査(裏面含む)
ミクロ検査 顕微鏡検査
顕微鏡
①オートフォーカス付き
②対物レンズ:5/10/20/50/100 
③オートフォーカス付き
④1,728万画素デジタルカメラ付き
タクトタイム
Total:142sec/枚
①カセット取出→マクロ検査部受渡 22sec
②マクロ検査(裏面含む)20sec
③マクロ検査部→ミクロ検査部搬送(アライメント含む)50sec
④ミクロ検査(5点測定)30sec 
⑤ミクロ検査部→カセット収納 20sec
搬送方式
反転機能付きシングルアーム
クリーンロボット 1基
搭載可能キャリア数
ローダ/アンローダ兼用2個

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