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顕微鏡ローダー(MWL-02型)

顕微鏡ローダー(MWL-02型)

顕微鏡ローダー(MWL-02型)
顕微鏡ローダー(MWL-02型)

概要・特徴

概要
ウェハのマクロ検査及び、顕微鏡によるミクロ検査を行う装置です。
ワークサイズ
φ8インチ
工程
バックグラインド工程
ウェハ厚み
600 ~ 800μm
業界
電子部品
素材
Si(シリコン)
特徴1
他社同等機能を持ちながら安価に提供できます。
特徴2
本機械を基本として、お客様専用機にカスタマイズが可能です。
特徴3
装置上でレシピ作成が可能です。
又、ミクロ検査を行いながらレシピ作成と追加を行うことが出来ます。

導入情報・効果

導入前~課題~
人が介在することで作業時にウェハに破損が見られた。
導入後~効果~
手作業の取り扱いによるウェハ破損が無くなった。
 

基本仕様・機械仕様

対象ワーク Si(シリコン)
ワークサイズ φ8インチ
ワーク厚さ 600 ~ 800μm
設備形式 床設置式
設置環境 Class 1000
装置寸法 W1,480 x D900 x H1,400 (mm)
装置重量 500kg
電源電圧 単相 100V 50/60Hz共用
圧空 0.5MPa以上
真空 -50kPa以上
マクロ検査 目視検査(裏面含む)
ミクロ検査 顕微鏡検査
顕微鏡
①オートフォーカス付き
②接眼レンズ x 10
 対物レンズ:5/10/20/50/100 
③オートフォーカス付き
④CMOSカメラ付き
⑤暗視野無し
タクトタイム
Total:100sec/枚
①カセット取出→マクロ検査部受渡 10sec
②マクロ検査(裏面含む)20sec
③マクロ検査部→ミクロ検査部搬送(アライメント含む)30sec
④ミクロ検査(5点測定)30sec
⑤ミクロ検査部→カセット収納 10sec
搬送方式
ツインアーム
電動スライダ組み合わせ
搭載可能キャリア数 ローダ/アンローダ兼用2個

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