顕微鏡ローダー(MWL-02型)
概要・特徴
- 概要
- ウェハのマクロ検査及び、顕微鏡によるミクロ検査を行う装置です。
- ワークサイズ
- φ8インチ
- 工程
- バックグラインド工程
- ウェハ厚み
- 600 ～ 800μm
- 業界
- 電子部品
- 素材
- Si（シリコン）
- 特徴1
- 他社同等機能を持ちながら安価に提供できます。
- 特徴2
- 本機械を基本として、お客様専用機にカスタマイズが可能です。
- 特徴3
-
装置上でレシピ作成が可能です。
又、ミクロ検査を行いながらレシピ作成と追加を行うことが出来ます。
導入情報・効果
- 導入前～課題～
-
人が介在することで作業時にウェハに破損が見られた。
- 導入後～効果～
-
手作業の取り扱いによるウェハ破損が無くなった。
基本仕様・機械仕様
| 対象ワーク | Si（シリコン） |
|---|---|
| ワークサイズ | φ8インチ |
| ワーク厚さ | 600 ～ 800μm |
| 設備形式 | 床設置式 |
| 設置環境 | Class 1000 |
| 装置寸法 | W1,480 x D900 x H1,400 (mm) |
| 装置重量 | 500kg |
| 電源電圧 | 単相 100V 50/60Hz共用 |
| 圧空 | 0.5MPa以上 |
| 真空 | -50kPa以上 |
| マクロ検査 | 目視検査(裏面含む） |
| ミクロ検査 | 顕微鏡検査 |
| 顕微鏡 | ①オートフォーカス付き
②接眼レンズ x 10
対物レンズ：5/10/20/50/100
③オートフォーカス付き
④CMOSカメラ付き
⑤暗視野無し |
| タクトタイム | Total：100sec/枚
①カセット取出→マクロ検査部受渡 10sec
②マクロ検査(裏面含む）20sec
③マクロ検査部→ミクロ検査部搬送(アライメント含む）30sec
④ミクロ検査(5点測定）30sec
⑤ミクロ検査部→カセット収納 10sec |
| 搬送方式 | ツインアーム
電動スライダ組み合わせ |
| 搭載可能キャリア数 | ローダ/アンローダ兼用2個 |
