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外観検査装置(SWL-05型)

外観検査装置(SWL-05型)

外観検査装置(SWL-05型)
外観検査装置(SWL-05型) 外観検査装置(SWL-05型)

概要・特徴

概要
ウェハの外観目視検査と厚さ測定を行う装置です。厚さ測定は十字5点及び十字9点の測定を選択できます。
ワークサイズ
φ8インチ
工程
洗浄工程
ウェハ厚み
300 ~ 500μm
業界
電子部品
素材
Si(シリコン)
特徴1
ジョイスティック操作により目視検査が簡単に行えます。
特徴2
ノッチ位置によるアライメントを行い、厚さを静電容量センサを用いて挟み込み測定を行います。

導入情報・効果

導入前~課題~
作業者により測定のばらつきが発生。
導入後~効果~
作業者による測定精度の誤差が解消された。

基本仕様・機械仕様

対象ワーク Si(シリコン)
ワークサイズ φ8インチ
ワーク厚さ 300 ~ 500μm
設備形式 床設置式
設置環境 Class 1000
装置寸法 W1,500 x D920 x H1,650 (mm)
装置重量 300kg
電源電圧 単相 100V 50/60Hz共用
圧空 0.5MPa以上
真空 -50kPa以上
検査方法 目視検査
検査範囲 ウェハ表裏面
厚さ測定センサ 静電容量センサ
測定精度
繰り返し10回
標準偏差 0.2μm以下
測定ポイント 十字5、9点測定

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