外観検査装置（SWL-05型）
概要・特徴
- 概要
- ウェハの外観目視検査と厚さ測定を行う装置です。厚さ測定は十字5点及び十字9点の測定を選択できます。
- ワークサイズ
- φ8インチ
- 工程
- 洗浄工程
- ウェハ厚み
- 300 ～ 500μm
- 業界
- 電子部品
- 素材
- Si（シリコン）
- 特徴1
- ジョイスティック操作により目視検査が簡単に行えます。
- 特徴2
- ノッチ位置によるアライメントを行い、厚さを静電容量センサを用いて挟み込み測定を行います。
導入情報・効果
- 導入前～課題～
- 作業者により測定のばらつきが発生。
- 導入後～効果～
- 作業者による測定精度の誤差が解消された。
基本仕様・機械仕様
| 対象ワーク | Si（シリコン） |
|---|---|
| ワークサイズ | φ8インチ |
| ワーク厚さ | 300 ～ 500μm |
| 設備形式 | 床設置式 |
| 設置環境 | Class 1000 |
| 装置寸法 | W1,500 x D920 x H1,650 (mm) |
| 装置重量 | 300kg |
| 電源電圧 | 単相 100V 50/60Hz共用 |
| 圧空 | 0.5MPa以上 |
| 真空 | -50kPa以上 |
| 検査方法 | 目視検査 |
| 検査範囲 | ウェハ表裏面 |
| 厚さ測定センサ | 静電容量センサ |
| 測定精度 | 繰り返し10回
標準偏差 0.2μm以下 |
| 測定ポイント | 十字5、9点測定 |
