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外観検査装置(OSI-01型)

外観検査装置(OSI-01型)

外観検査装置(OSI-01型)
外観検査装置(OSI-01型) 外観検査装置(OSI-01型)

概要・特徴

概要
カセット内ウェハを自動で検査ステージに搬送し、外観目視検査を行う半自動装置です。
作業者の合否判定結果により、収納カセットを選別しウェハを収納します。
ワークサイズ
φ8インチ
工程
洗浄工程
ウェハ厚み
325 ~ 725μm
業界
電子部品
素材
Si(シリコン)
特徴1
ジョイスティック操作により目視検査が簡単に行えます。
特徴2

照明はご相談により変更可能です。

現:ハロゲン光

 

 

導入情報・効果

導入前~課題~
人が介在することで作業時にウェハに破損が見られた。
導入後~効果~
手作業の取り扱いによるウェハ破損が無くなった。

基本仕様・機械仕様

対象ワーク Si(シリコン)
ワークサイズ φ8インチ
ワーク厚さ 325 ~ 725μm
設備形式 床設置式
設置環境 Class 1000
装置寸法 W1,350 x D1,045 x H1,630 (mm)
装置重量 300kg
電源電圧 単相 200V 50/60Hz共用
圧空 0.5MPa以上
検査方法 目視検査
検査範囲 ウェハ表裏面
光源 ハロゲン光
搬送方式
シングルアーム
電動スライダ組み合わせ
搭載可能キャリア数 ローダ1個/アンローダ1個

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