外観検査装置（OSI-01型）
概要・特徴
- 概要
- カセット内ウェハを自動で検査ステージに搬送し、外観目視検査を行う半自動装置です。
作業者の合否判定結果により、収納カセットを選別しウェハを収納します。
- ワークサイズ
- φ8インチ
- 工程
- 洗浄工程
- ウェハ厚み
- 325 ～ 725μm
- 業界
- 電子部品
- 素材
- Si（シリコン）
- 特徴1
- ジョイスティック操作により目視検査が簡単に行えます。
- 特徴2
-
照明はご相談により変更可能です。
現：ハロゲン光
導入情報・効果
- 導入前～課題～
-
人が介在することで作業時にウェハに破損が見られた。
- 導入後～効果～
- 手作業の取り扱いによるウェハ破損が無くなった。
基本仕様・機械仕様
| 対象ワーク | Si（シリコン） |
|---|---|
| ワークサイズ | φ8インチ |
| ワーク厚さ | 325 ～ 725μm |
| 設備形式 | 床設置式 |
| 設置環境 | Class 1000 |
| 装置寸法 | W1,350 x D1,045 x H1,630 (mm) |
| 装置重量 | 300kg |
| 電源電圧 | 単相 200V 50/60Hz共用 |
| 圧空 | 0.5MPa以上 |
| 検査方法 | 目視検査 |
| 検査範囲 | ウェハ表裏面 |
| 光源 | ハロゲン光 |
| 搬送方式 | シングルアーム
電動スライダ組み合わせ |
| 搭載可能キャリア数 | ローダ1個/アンローダ1個 |
