ランプ加熱装置（SHM-01型）
概要・特徴
- 概要
- φ12インチ貼り合わせウェハを加熱用IRランプにて加熱する装置です。
- ワークサイズ
- φ12インチ
- ウェハ厚み
- 1,450μm
- 業界
- 電子部品
- 素材
- Si（シリコン）
- 特徴1
- 手動/自動の切り替えおよび任意の温度調整が可能です。
- 特徴2
- 加熱温度は最大500℃まで上昇します。
- 特徴3
- ウェハサイズはご相談ください。
導入情報・効果
- 導入前～課題～
- 人が介在することで作業時にウェハに破損が見られた。
- 導入後～効果～
- 手作業の取り扱いによるウェハ破損が無くなった。
基本仕様・機械仕様
| 対象ワーク | Si（シリコン） |
|---|---|
| ワークサイズ | φ12インチ |
| ワーク厚さ | 1,450μm |
| 設備形式 | 床設置式 |
| 設置環境 | Class 1000 |
| 装置寸法 | W700 x D350 x H1,200 (mm) |
| 装置重量 | 200kg |
| 電源電圧 | 三相 200V 50/60Hz共用 |
| 冷却水 | 20L/min |
| アルゴンガス | 100NL/min |
| 加熱温度 | 最大500℃ |
| 加熱ランプ | 赤外線ラジエータ |
