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ウェハ面取り機(WEB-01型)

ウェハ面取り機(WEB-01型)

ウェハ面取り機(WEB-01型)
ウェハ面取り機(WEB-01型)

概要・特徴

概要
ウェハの面取り加工を簡易的に行う装置です。
ワークサイズ
φ2、3、4、5、6インチ
工程
べべリング工程
ウェハ厚み
150 ~ 600μm
業界
電子部品
素材
Si(シリコン)、SiC、ガラス
特徴1
簡単操作の半自動機です。簡単な段替えにより対象ワークの対応が可能です。
特徴2
4溝仕様の砥石まで取付が可能です。消耗品の寿命が延びます。
特徴3
サンプルワークでのデモテストが可能です。画像処理による加工前後の確認も可能です。

導入情報・効果

導入前~課題~
人により作業におけるばらつきが起きていた。
導入後~効果~
属人化した業務を解消し、安定した工程ラインとなった。

基本仕様・機械仕様

対象ワーク Si(シリコン)、SiC、ガラス等
ワークサイズ φ2、3、4、5、6インチ
ワーク厚さ 150 ~ 600μm
設備形式 床設置式
設置環境 Class 10000
装置寸法 W750 x D500 x H1,030 (mm)
装置重量 80kg
電源電圧 三相 100V 50/60Hz共用
圧空 0.5MPa以上
真空 付属 真空ポンプ
冷却水 3L/min
グラインダ フレキシブルグラインダ
砥石 ダイヤモンド砥石

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