ウェハ面取り機（WEB-01型）
概要・特徴
- 概要
- ウェハの面取り加工を簡易的に行う装置です。
- ワークサイズ
- φ2、3、4、5、6インチ
- 工程
- べべリング工程
- ウェハ厚み
- 150 ～ 600μm
- 業界
- 電子部品
- 素材
- Si（シリコン）、SiC、ガラス
- 特徴1
- 簡単操作の半自動機です。簡単な段替えにより対象ワークの変更が可能です。
- 特徴2
- 4溝仕様の砥石まで取付が可能です。消耗品の寿命が延びます。
- 特徴3
- サンプルワークでのデモテストが可能です。画像処理による加工前後の確認も可能です。
導入情報・効果
- 導入前～課題～
- 人により作業におけるばらつきが起きていた。
- 導入後～効果～
- 属人化した業務を解消し、安定した工程ラインとなった。
基本仕様・機械仕様
| 対象ワーク | Si（シリコン）、SiC、ガラス等 |
|---|---|
| ワークサイズ | φ2、3、4、5、6インチ |
| ワーク厚さ | 150 ～ 600μm |
| 設備形式 | 床設置式 |
| 設置環境 | Class 10000 |
| 装置寸法 | W750 x D500 x H1,030 (mm) |
| 装置重量 | 80kg |
| 電源電圧 | 三相 100V 50/60Hz共用 |
| 圧空 | 0.5MPa以上 |
| 真空 | 付属 真空ポンプ |
| 冷却水 | 3L/min |
| グラインダ | フレキシブルグラインダ |
| 砥石 | ダイヤモンド砥石 |
