反転移載機（WRM-02型）
概要・特徴
- 概要
- φ8インチウェハを、反転移載する装置です。
- ワークサイズ
- φ8インチ
- 工程
- 表面酸化工程
- ウェハ厚み
- 150 ～ 750μm
- 業界
- 電子部品
- 素材
- Si（シリコン）
- 特徴1
- ウェハを外周ハンギング方式で取り扱う為、極薄ウェハの移載が可能です。
- 特徴2
- ロボットのハンドにはセラミックを、反転部のクランプにはテフロンを使用しています。
- 特徴3
- キャリアポートは3箇所あり、2箇所がロードおよびアンロードとして使用し、残り1個をバッファとして使用します。
導入情報・効果
- 導入前～課題～
- 人が介在することで作業時にウェハに破損が見られた。
- 導入後～効果～
- 手作業の取り扱いによるウェハ破損が無くなった。
基本仕様・機械仕様
| 対象ワーク | Si（シリコン） |
|---|---|
| ワークサイズ | φ8インチ |
| ワーク厚さ | 150 ～ 750μm |
| 設備形式 | 床設置式 |
| 設置環境 | Class 1000 |
| 装置寸法 | W1,500 x D1,600 x H1,400 (mm) |
| 装置重量 | 750kg |
| 電源電圧 | 単相 100V 50/60Hz共用 |
| 圧空 | 0.5MPa以上 |
| 真空 | 付属 真空ポンプ |
| タクトタイム | 30sec/枚 |
| 搬送方式 | 反転機能付きツインアーム
クリーンロボット 1基 |
| 搭載可能キャリア数 | ローダ2個/アンローダ2個/不良1個 |
