「ウェハ検査装置・測定装置ラボ.com」はウェハ製造・検査工程のプロセス自動化を行う装置メーカーです。

お問い合わせはこちら

反転移載機(WRM-02型)

反転移載機(WRM-02型)

反転移載機(WRM-02型)

概要・特徴

概要
φ8インチウェハを、反転移載する装置です。
ワークサイズ
φ8インチ
工程
表面酸化工程
ウェハ厚み
150 ~ 750μm
業界
電子部品
素材
Si(シリコン)
特徴1
ウェハを外周ハンギング方式で取り扱う為、極薄ウェハの移載が可能です。
特徴2
ロボットのハンドにはセラミックを、反転部のクランプにはテフロンを使用しています。
特徴3
キャリアポートは3箇所あり、2箇所がロードおよびアンロードとして使用し、残り1個をバッファとして使用します。

導入情報・効果

導入前~課題~
人が介在することで作業時にウェハに破損が見られた。
導入後~効果~
手作業の取り扱いによるウェハ破損が無くなった。

基本仕様・機械仕様

対象ワーク Si(シリコン)
ワークサイズ φ8インチ
ワーク厚さ 150 ~ 750μm
設備形式 床設置式
設置環境 Class 1000
装置寸法 W1,500 x D1,600 x H1,400 (mm)
装置重量 750kg
電源電圧 単相 100V 50/60Hz共用
圧空 0.5MPa以上
真空 付属 真空ポンプ
タクトタイム 30sec/枚
搬送方式
反転機能付きツインアーム
クリーンロボット 1基
搭載可能キャリア数
ローダ2個/アンローダ2個/不良1個

関連事例を見る

一覧に戻る

閉じる