「ウェハ検査装置・測定装置ラボ.com」はウェハ製造・検査工程のプロセス自動化を行う装置メーカーです。

お問い合わせはこちら

ウェハハンドリング装置(CHI-02型)

ウェハハンドリング装置(CHI-02型)

ウェハハンドリング装置(CHI-02型)
ウェハハンドリング装置(CHI-02型)

概要・特徴

概要
ウェハの外観検査を行う装置です。
目視検査およびP/N判定を行う装置です。
ワークサイズ
φ12インチ
工程
エッジング工程
ウェハ厚み
600 ~ 800μm
業界
電子部品
素材
Si(シリコン)
特徴1
反転機能付きのツインアームロボットを使用することにより、効率よくウェハの搬送が行えます。
特徴2
検査ステージは最大で45度までの傾斜が可能で、360度回転し、ウェハの表面、裏面、エッジの検査が可能です。また、P/N判定が可能です。
特徴3
カセットステージにはFOSB10個をセット可能で、各ステージは任意にロード、アンロードの設定が可能です。

導入情報・効果

導入前~課題~
人が介在することで作業時にウェハに破損が見られた。
導入後~効果~
手作業の取り扱いによるウェハ破損が無くなった。

基本仕様・機械仕様

対象ワーク Si(シリコン)
ワークサイズ φ12インチ
ワーク厚さ 600 ~ 800μm
設備形式 床設置式
設置環境 Class 1000
装置寸法 W1,640 x D1,720 x H1,730 (mm)
装置重量 750Kg
電源電圧 単相 100V 50/60Hz共用
圧空 0.5MPa以上
真空 付属 真空ポンプ
タクトタイム 40sec/枚
搬送方式
反転機能付きツインアーム
クリーンロボット 1基
搭載可能キャリア数 ローダ/アンローダ兼用10個
アライメント方式 エッジクランプ/光電センサ
アライメント精度 ±0.5mm/±1°
その他 目視検査、PN判定機能付き

関連事例を見る

一覧に戻る

閉じる