「ウェハ検査装置・測定装置ラボ.com」はウェハ製造・検査工程のプロセス自動化を行う装置メーカーです。

お問い合わせはこちら

ウェハ搬送機(WLU-01型)

ウェハ搬送機(WLU-01型)

ウェハ搬送機(WLU-01型)
ウェハ搬送機(WLU-01型) ウェハ搬送機(WLU-01型)

概要・特徴

概要
3種類の動作モードより選択した動作を行う装置です。
ワークサイズ
φ6.5、8インチ
工程
洗浄工程
ウェハ厚み
500 ~ 1,150μm
業界
電子部品
素材
ガラス
特徴1
カセット上からか下からの連続動作。また、指定したSLOTからの収納、取り出し動作が可能です。
特徴2
ストッパ付キャスターにて、使用したい場所への移動してお使いいただけます。電源も100V一般コンセントへ差込むだけでOKです。

導入情報・効果

導入前~課題~
人が介在することで作業時にウェハに破損が見られた。
導入後~効果~
手作業の取り扱いによるウェハ破損が無くなった。

基本仕様・機械仕様

対象ワーク ガラス
ワークサイズ φ6.5、8インチ
ワーク厚さ 500 ~ 1,150μm
設備形式 床設置式
設置環境 Class 1000
装置寸法 W400 x D765 x H1,480 (mm)
装置重量 100Kg
電源電圧 単相 100V 50/60Hz共用
タクトタイム 7sec/枚
搬送方式
シングルアーム
電動スライダ
搭載可能キャリア数 ローダ/アンローダ兼用1個
その他
移載パターン3種類

関連事例を見る

一覧に戻る

閉じる