ウェハ搬送機（WLU-01型）
概要・特徴
- 概要
- 3種類の動作モードより選択した動作を行う装置です。
- ワークサイズ
- φ6、5、8インチ
- 工程
- 洗浄工程
- ウェハ厚み
- 500 ～ 1,150μm
- 業界
- 電子部品
- 素材
- ガラス
- 特徴1
- カセット上からか下からの連続動作。また、指定したSLOTからの収納、取り出し動作が可能です。
- 特徴2
- ストッパ付キャスターにて、使用したい場所への移動してお使いいただけます。電源も100V一般コンセントへ差込むだけでOKです。
導入情報・効果
- 導入前～課題～
- 人が介在することで作業時にウェハに破損が見られた。
- 導入後～効果～
- 手作業の取り扱いによるウェハ破損が無くなった。
基本仕様・機械仕様
| 対象ワーク | ガラス |
|---|---|
| ワークサイズ | φ6.5、8インチ |
| ワーク厚さ | 500 ～ 1,150μm |
| 設備形式 | 床設置式 |
| 設置環境 | Class 1000 |
| 装置寸法 | W400 x D765 x H1,480 (mm) |
| 装置重量 | 100Kg |
| 電源電圧 | 単相 100V 50/60Hz共用 |
| タクトタイム | 7sec/枚 |
| 搬送方式 | シングルアーム
電動スライダ |
| 搭載可能キャリア数 | ローダ/アンローダ兼用1個 |
| その他 | 移載パターン3種類 |
