ウェハローダー（SWL-01型）
概要・特徴
- 概要
- ウェハ加工装置へ接続し、ウェハを１枚ずつ供給する装置です。
- ワークサイズ
- φ6インチ
- 工程
- べべリング工程
- ウェハ厚み
- 500 ～ 800μm
- 業界
- 電子部品
- 素材
- Si（シリコン）
- 特徴1
- φ6インチ カセットを２個セットすることができ、装置からの信号により、ウェハを１枚ずつ装置へ供給します。
- 特徴2
- ベルトにより搬送します。
- 特徴3
- 他の装置への取り付けについてはご相談ください。
導入情報・効果
- 導入前～課題～
- 生産性アップを課題として考えていた。
- 導入後～効果～
- 競合他社装置よりタクト短縮され生産性が向上した。
基本仕様・機械仕様
| 対象ワーク | Si（シリコン） |
|---|---|
| ワークサイズ | φ6インチ |
| ワーク厚さ | 500 ～ 800μm |
| 設備形式 | 床設置式 |
| 設置環境 | Class 1000 |
| 装置寸法 | W585 x D710 x H1,065 (mm) |
| 装置重量 | 100Kg |
| 電源電圧 | 単相 100V 50/60Hz共用 |
| タクトタイム | 60sec/枚 |
| 搬送方式 | ポリウレタンベルト
スピードコントロールモータ |
| 搭載可能キャリア数 | ローダ/アンローダ兼用2個 |
| その他 | インライン装置 |
