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ウェハ乾燥機 (WCM-02型)

ウェハ乾燥機 (WCM-02型)

ウェハ乾燥機 (WCM-02型)

概要・特徴

概要
φ12インチウェハを乾燥させる装置です。
ワークサイズ
φ12インチ
工程
ポリッシング工程
ウェハ厚み
700 ~ 800μm
業界
電子部品
素材
Si(シリコン)
特徴1
エアーブローにてウェハを乾燥させます。
特徴2
圧空で駆動するため電気は使用しません。
特徴3
ウェハのサイズはご相談ください。

導入情報・効果

導入前~課題~
人が介在することで作業時にウェハに破損が見られた。
導入後~効果~
手作業の取り扱いによるウェハ破損が無くなった。

基本仕様・機械仕様

対象ワーク Si(シリコン)
ワークサイズ φ12インチ
ワーク厚さ 700 ~ 800μm
設備形式 床設置式
設置環境 Class 1000
装置寸法 W800 x D482 x H1,565 (mm)
装置重量 70Kg
圧空 0.6MPa以上
タクトタイム 55sec/枚
乾燥方法
エアーブロー乾燥

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