ウェハ乾燥機 （WCM-02型）
概要・特徴
- 概要
- φ12インチウェハを乾燥させる装置です。
- ワークサイズ
- φ12インチ
- 工程
- ポリッシング工程
- ウェハ厚み
- 700 ～ 800μm
- 業界
- 電子部品
- 素材
- Si（シリコン）
- 特徴1
- エアーブローにてウェハを乾燥させます。
- 特徴2
- 圧空で駆動するため電気は使用しません。
- 特徴3
- ウェハのサイズはご相談ください。
導入情報・効果
- 導入前～課題～
- 人が介在することで作業時にウェハに破損が見られた。
- 導入後～効果～
- 手作業の取り扱いによるウェハ破損が無くなった。
基本仕様・機械仕様
| 対象ワーク | Si（シリコン） |
|---|---|
| ワークサイズ | φ12インチ |
| ワーク厚さ | 700 ～ 800μm |
| 設備形式 | 床設置式 |
| 設置環境 | Class 1000 |
| 装置寸法 | W800 x D482 x H1,565 (mm) |
| 装置重量 | 70Kg |
| 圧空 | 0.6MPa以上 |
| タクトタイム | 55sec/枚 |
| 乾燥方法 | エアーブロー乾燥 |
