「ウェハ検査装置・測定装置ラボ.com」はウェハ製造・検査工程のプロセス自動化を行う装置メーカーです。

お問い合わせはこちら

容器回転装置(BRI-01型)

容器回転装置(BRI-01型)

容器回転装置(BRI-01型)

概要・特徴

概要
φ12インチウェハ容器を対象ワークとし、中に水1リットルを入れた状態で回転する装置です。
ワークサイズ
φ12インチ カセット(キャリア)
工程
洗浄工程
業界
電子部品
素材
FOSB、FOUP
特徴1
回転数および回転速度は任意に設定が可能です。
特徴2
対象ワークは合計10種類に対応しています。
特徴3
容器を置くステージは母材がアルミになっており、メタルフリー塩ビで覆われています。そのため、容器にキズがつくことはありません。

導入情報・効果

導入前~課題~
一工程に一人必要となっており、人の問題でコストアップを招いていた。
導入後~効果~
自動化装置導入により作業者が多くの仕事を行えるようになった。

基本仕様・機械仕様

対象ワーク カセット(キャリア)
ワークサイズ φ12インチ
設備形式 床設置式
設置環境 Class 1000
装置寸法 W1,000 x D1,000 x H1,930 (mm)
装置重量 250Kg
電源電圧 単相 100V 50/60Hz共用
圧空 0.5MPa以上
最大回転数 50rpm

関連事例を見る

一覧に戻る

閉じる