φ12インチ ウェハシュータ（SWU-01型）
概要・特徴
- 概要
- 研磨後のウェハの乾燥を防止するため、1枚毎に収納し水没させる装置です。
- ワークサイズ
- φ12インチ
- 工程
- ポリッシング工程
- ウェハ厚み
- 500 ～ 800μm
- 業界
- 電子部品
- 素材
- Si（シリコン）
- 特徴1
- ウェハシュータ部へ置かれたウェハは、ステージの傾斜と純水の吐出を利用してテフロンカセットへ滑り込み収納されます。
- 特徴2
- ウェハがテフロンカセット内へ収納されると、自動的に次のウェハを収納できる位置まで下降します。
- 特徴3
- テフロンカセットは４個セットできます。
導入情報・効果
- 導入前～課題～
- 工程間の品質管理に課題があった。
- 導入後～効果～
- 品質が向上し、安定した工程ラインとなった。
基本仕様・機械仕様
| 対象ワーク | Si（シリコン） |
|---|---|
| ワークサイズ | φ12インチ |
| ワーク厚さ | 500 ～ 800μm |
| 設備形式 | 床設置式 |
| 設置環境 | Class 1000 |
| 装置寸法 | W1,000 x D1,000 x H2,240 (mm) |
| 装置重量 | 450Kg |
| 電源電圧 | 単相 100V 50/60Hz共用 |
| 圧空 | 0.5MPa以上 |
| 純水 | 20L/min |
| タクトタイム | 3sec/枚 |
| 搭載可能キャリア数 | アンローダ4個 |
| その他 | 節水モード搭載 |
