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自働UV照射装置(SUH-02型)

自働UV照射装置(SUH-02型)

自働UV照射装置(SUH-02型)
自働UV照射装置(SUH-02型) 自働UV照射装置(SUH-02型)

概要・特徴

概要

自動でカセットより取出したウェハに設定時間UV照射を行う装置です。

ワークサイズ
φ8インチ
工程
エッジング工程
ウェハ厚み
400 ~ 800μm
業界
電子部品
素材
Si(シリコン)
特徴1

照射位置が18カ所(6箇所×3段)あり、タクトタイム20sec/枚(搬送のみ)が可能。

特徴2

6枚毎の照射が可能で、半日間無人化で運転が可能。

導入情報・効果

導入前~課題~
人が介在することで作業時にウェハに破損が見られた。
導入後~効果~
手作業の取り扱いによるウェハ破損が無くなった。

基本仕様・機械仕様

対象ワーク Si(シリコン)
ワークサイズ φ8インチ
ワーク厚さ 400 ~ 800μm
設備形式 床設置式
設置環境 Class 1000
装置寸法 W1,300 x D900 x H1,900 (mm)
装置重量 500Kg
電源電圧 三相 200V 50/60Hz共用
圧空 0.4MPa以上
真空 -50kPa以上
タクトタイム 20sec/枚(搬送のみ)
搬送方法
シングルアーム
電動スライダ組み合わせ
搭載可能キャリア数 ローダ/アンローダ兼用1個
UV 殺菌灯
UV搭載可能数 6枚
その他
照度点検、強度管理機能

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