ウェハ厚さ測定機（TME-15型）
概要・特徴
- 概要
レシピ設定によりウェハの多点の厚さを測る装置です。
- ワークサイズ
- φ4、5、6インチ
- 工程
- エッジング工程
- ウェハ厚み
- 300 ～ 1,000μm
- 業界
- 電子部品
- 素材
- Si（シリコン）
- 特徴1
-
搬送方法4軸水平多軸シングルアームロボット
導入情報・効果
- 導入前～課題～
- 作業者により測定のばらつきが発生。
- 導入後～効果～
- 作業者による測定精度の誤差が解消された。
基本仕様・機械仕様
| 対象ワーク | Si（シリコン） |
|---|---|
| ワークサイズ | φ4、5、6インチ |
| ワーク厚さ | 300 ～ 1,000μm |
| 設備形式 | 床設置式 |
| 設置環境 | Class 1000 |
| 装置寸法 | W1,340 x D930 x H1,896 (mm) |
| 装置重量 | 400Kg |
| 電源電圧 | 三相 200V 50/60Hz共用 |
| 真空 | -60KPa |
| 測定センサ | 分光干渉センサ |
| 測定精度 | 繰り返し30回
測定値再現性 バラツキ1.0μm以下 |
| 測定ポイント | レシピ多点測定 |
| タクトタイム | φ5インチ 32点測定
105sec/枚 |
