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一括移載機(WTI-02型)

一括移載機(WTI-02型)

一括移載機(WTI-02型)

概要・特徴

概要

本機械は、ウェハのカセットtoカセット移載を、手動操作にて行う装置です。

ワークサイズ
φ6インチ
工程
表面酸化工程
ウェハ厚み
200 ~ 400μm
業界
電気機器
素材
SiC
特徴1

ウェハをカセットに接触させず25枚一括で持ち上げて移載します。そのため発塵が少なく、製品への汚染を最小限に抑えます。

特徴2

移動軸にメカストッパを設け、操作ミスによるウェハ破損を防ぎます。また、移載は片手操作が可能です。

導入情報・効果

導入前~課題~
人が介在することで作業時にウェハに破損が見られた。
導入後~効果~
手作業の取り扱いによるウェハ破損が無くなった。

基本仕様・機械仕様

対象ワーク SiC
ワークサイズ φ6インチ
ワーク厚さ 200 ~ 400μm
設備形式 卓上式
設置環境

Class 1000

装置寸法 W520 x D250 x H260 (mm)
装置重量 20kg
操作方法 手動操作
搭載可能キャリア数 ローダ/アンローダ兼用1個

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