一括移載機（WTI-02型）
概要・特徴
- 概要
本機械は、ウェハのカセットtoカセット移載を、手動操作にて行う装置です。
- ワークサイズ
- φ6インチ
- 工程
- 表面酸化工程
- ウェハ厚み
- 200 ～ 400μm
- 業界
- 電気機器
- 素材
- SiC
- 特徴1
-
ウェハをカセットに接触させず25枚一括で持ち上げて移載します。そのため発塵が少なく、製品への汚染を最小限に抑えます。
- 特徴2
-
移動軸にメカストッパを設け、操作ミスによるウェハ破損を防ぎます。また、移載は片手操作が可能です。
導入情報・効果
- 導入前～課題～
- 人が介在することで作業時にウェハに破損が見られた。
- 導入後～効果～
- 手作業の取り扱いによるウェハ破損が無くなった。
基本仕様・機械仕様
| 対象ワーク | SiC |
|---|---|
| ワークサイズ | φ6インチ |
| ワーク厚さ | 200 ～ 400μm |
| 設備形式 | 卓上式 |
| 設置環境 | Class 1000 |
| 装置寸法 | W520 x D250 x H260 (mm) |
| 装置重量 | 20kg |
| 操作方法 | 手動操作 |
| 搭載可能キャリア数 | ローダ/アンローダ兼用1個 |
