ノッチ・オリフラ自動整列機（AAM-01型）
概要・特徴
- 概要
- 指定カセットに収納されたウェハのノッチ及びオリフラの向きを整列させる装置です。
- ワークサイズ
- φ8インチ
- 工程
- エッジング工程
- ウェハ厚み
- 700 ～ 800μm
- 業界
- 電子部品
- 素材
- Si（シリコン）
- 特徴1
-
カセットを2個セット可能です。
2カセットにすることにより作業時間を大幅に削減できます。
- 特徴2
-
耐摩耗性と低発塵性を実現するため、回転ローラーの材質は特殊樹脂を使用し、整列バーはステンレス材に樹脂コートを施しています。
- 特徴3
-
タイマーをあらかじめ設定する事により、スイッチで3種類の角度に整列が可能です。又、角度盤で整列角度を確認できます。
導入情報・効果
- 導入前～課題～
- 人が介在することで作業時にウェハに破損が見られた。
- 導入後～効果～
- 手作業の取り扱いによるウェハ破損が無くなった。
基本仕様・機械仕様
| 対象ワーク | Si（シリコン） |
|---|---|
| ワークサイズ | φ8インチ |
| ワーク厚さ | 700 ～ 800μm |
| 設備形式 | 卓上式 |
| 設置環境 | Class 1000 |
| 装置寸法 | W750 x D342 x H260 (mm) |
| 装置重量 | 20kg |
| 電源電圧 | 単相 100V 50/60Hz共用 |
| タクトタイム | 30sec/枚 |
| 搭載可能キャリア数 | 2個 |
