ウェハ測定,ウェハ検査,ウェハ厚さ測定"> こちらは、ウェハ検査・測定装置ラボ.comで提案しているウェハ厚さ測定機(TME-18型)です。"> ウェハ厚さ測定機(TME-18型)

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ウェハ厚さ測定機(TME-18型)

ウェハ厚さ測定機(TME-18型)

ウェハ厚さ測定機(TME-18型)
ウェハ厚さ測定機(TME-18型)

概要・特徴

概要
ウェハの厚さ測定する装置で、厚さ測定は、レシピによる多点測定を行います。
ワークサイズ
φ6インチ
工程
ポリッシング工程
ウェハ厚み
100 ~ 540μm
業界
電子部品
素材
Si(シリコン)、SiC
特徴1
他社同等機能を持ちながら安価に提供が可能です。
特徴2
分光干渉センサーにより非接触にて、ウェハ厚さを測定します。

導入情報・効果

導入前~課題~
一工程に一人必要となっており、人の問題でコストアップを招いていた。
導入後~効果~
自動化装置導入により作業者が多くの仕事を行えるようになった。

基本仕様・機械仕様

対象ワーク Si(シリコン)、SiC
ワークサイズ φ6インチ
ワーク厚さ 100 ~ 540μm
設備形式 床設置式
設置環境 Class 1000
装置寸法 W1,200 x D700 x H1,960 (mm)
装置重量 300kg
電源電圧 三相 200V 50/60Hz共用
真空 付属 真空ポンプ
測定センサ 分光干渉センサ
測定精度
繰り返し10回
標準偏差 ±0.1μm以下
測定ポイント 最大30点測定
タクトタイム
φ6インチ 十字5点測定
60sec/枚

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