"> 自動キャリア厚さ測定機(CME-08型)

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自動キャリア厚さ測定機(CME-08型)

自動キャリア厚さ測定機(CME-08型)

自動キャリア厚さ測定機(CME-08型)
自動キャリア厚さ測定機(CME-08型)

概要・特徴

概要
ラップ/ポリッシュ用キャリアの厚さ測定を行う装置です。
ワークサイズ
別途、ご相談下さい。
工程
ポリッシング工程
ウェハ厚み
200 ~ 1,000μm
業界
電子部品
素材
金属キャリア
特徴1
測定テーブル上の一決めピンを移動することにより、複数のワークに対応。
特徴2
測定するワークのサイズ、材質、測定ポイント等はご相談ください。

導入情報・効果

導入前~課題~
作業者により測定のばらつきが発生
導入後~効果~
作業者による測定精度の誤差が解消された。

基本仕様・機械仕様

対象ワーク 金属キャリア
ワークサイズ 別途、ご相談下さい。
ワーク厚さ 200 ~ 1,000μm
設備形式 床設置式
設置環境 一般室
装置寸法 W1,100 x D1,800 x H1,430 (mm)
装置重量 500kg
電源電圧

三相 200V 50/60Hz共用

測定センサ

色収差共焦点センサ

測定精度
金属部 スキャン測定時
繰り返し10回
繰り返し測定レンジ0.3μm以下
測定ポイント 任意多点測定
タクトタイム 36点測定 スキャン測定時 5min/枚

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