自動キャリア厚さ測定機（CME-08型）
概要・特徴
- 概要
- ラップ/ポリッシュ用キャリアの厚さ測定を行う装置です。
- ワークサイズ
- 別途、ご相談下さい。
- 工程
- ポリッシング工程
- ウェハ厚み
- 200 ～ 1,000μm
- 業界
- 電子部品
- 素材
- 金属キャリア
- 特徴1
- 測定テーブル上の一決めピンを移動することにより、複数のワークに対応。
- 特徴2
- 測定するワークのサイズ、材質、測定ポイント等はご相談ください。
導入情報・効果
- 導入前～課題～
- 作業者により測定のばらつきが発生
- 導入後～効果～
- 作業者による測定精度の誤差が解消された。
基本仕様・機械仕様
| 対象ワーク | 金属キャリア |
|---|---|
| ワークサイズ | 別途、ご相談下さい。 |
| ワーク厚さ | 200 ～ 1,000μm |
| 設備形式 | 床設置式 |
| 設置環境 | 一般室 |
| 装置寸法 | W1,100 x D1,800 x H1,430 (mm) |
| 装置重量 | 500kg |
| 電源電圧 | 三相 200V 50/60Hz共用 |
| 測定センサ | 色収差共焦点センサ |
| 測定精度 | 金属部 スキャン測定時
繰り返し10回
繰り返し測定レンジ0.3μm以下 |
| 測定ポイント | 任意多点測定 |
| タクトタイム | 36点測定 スキャン測定時 5min/枚 |
