ウェハ移載機（WRM-09型）
概要・特徴
- 概要
- φ12インチウェハを詰め替え移載する装置です。
- ワークサイズ
- φ12インチ
- 工程
- 検査工程
- ウェハ厚み
- 500 ～ 1,500μm
- 業界
- 電子部品
- 素材
- ガラス
- 特徴1
-
ID読み取り機能を設けOK/NG判定による振り分け収納も可能です。
- 特徴2
- 平行移載も可能です。
導入情報・効果
- 導入前～課題～
- 人が介在することで作業時にウェハに破損が見られた。
- 導入後～効果～
- 手作業の取り扱いによるウェハ破損が無くなった。
基本仕様・機械仕様
| 対象ワーク | ガラス |
|---|---|
| ワークサイズ | φ12インチ |
| ワーク厚さ | 500 ～ 1,500μm |
| 設備形式 | 床設置式 |
| 設置環境 | Class 100 |
| 装置寸法 | W1,200 x D1,300 x H1,600 (mm) |
| 装置重量 | 400Kg |
| 電源電圧 | 三相 200V 50/60Hz共用 |
| 圧空 | 0.5MPa以上 |
| タクトタイム | 40sec/枚 |
| 搬送方式 | シングルアーム
電動スライダ |
| 搭載可能キャリア数 | ローダ/アンローダ兼用2個 |
| その他 | 移載パターン2種類 |
