「ウェハ検査装置・測定装置ラボ.com」はウェハ製造・検査工程のプロセス自動化を行う装置メーカーです。

お問い合わせはこちら

ウェハ移載機(WRM-09型)

ウェハ移載機(WRM-09型)

ウェハ移載機(WRM-09型)

概要・特徴

概要
φ12インチウェハを詰め替え移載する装置です。
ワークサイズ
φ12インチ
工程
検査工程
ウェハ厚み
500 ~ 1,500μm
業界
電子部品
素材
ガラス
特徴1
ID読み取り機能を設けOK/NG判定による振り分け収納も可能です。
特徴2
平行移載も可能です。

導入情報・効果

導入前~課題~
人が介在することで作業時にウェハに破損が見られた。
導入後~効果~
手作業の取り扱いによるウェハ破損が無くなった。

基本仕様・機械仕様

対象ワーク ガラス
ワークサイズ φ12インチ
ワーク厚さ 500 ~ 1,500μm
設備形式 床設置式
設置環境 Class 100
装置寸法 W1,200 x D1,300 x H1,600 (mm)
装置重量 400Kg
電源電圧 三相 200V 50/60Hz共用
圧空 0.5MPa以上
タクトタイム
40sec/枚
搬送方式
シングルアーム
電動スライダ
搭載可能キャリア数
ローダ/アンローダ兼用2個
その他 移載パターン2種類

関連事例を見る

一覧に戻る

閉じる