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顕微鏡ローダー(MWL-04型)

顕微鏡ローダー(MWL-04型)

顕微鏡ローダー(MWL-04型)

概要・特徴

概要
ウェハのマクロ検査及び、顕微鏡によるミクロ検査を行う装置です。
ワークサイズ
φ6、8インチ
工程
パターニング工程
ウェハ厚み
300 ~ 1,000μm
業界
電子部品
素材
Si(シリコン)
特徴1
顕微鏡へのウェハ移載を完全自動化
特徴2
装置上でレシピ作成が可能です。
又、ミクロ検査を行いながらレシピ作成と追加を行うことが出来ます。

導入情報・効果

導入前~課題~
人が介在することで作業時にウェハに破損が見られた。
導入後~効果~
手作業の取り扱いによるウェハ破損が無くなった。

基本仕様・機械仕様

対象ワーク Si(シリコン)
ワークサイズ φ6、8インチ
ワーク厚さ
300 ~ 1,000μm 
設備形式 床設置式
設置環境 Class 100
装置寸法 W1,430 x D1,110 x H1,440 (mm)
装置重量 450kg
電源電圧 単相 100V 50/60Hz共用
真空 付属 真空ポンプ
マクロ検査 目視検査(裏面含む)
ミクロ検査 顕微鏡検査
顕微鏡
①オートフォーカス付き
②接眼レンズ x 10
 対物レンズ:5/10/20/50/100 
③オートフォーカス付き
④FULL HD カメラ付き
タクトタイム
① タクトタイムは16min/25枚  (裏面マクロ含まない場合)
② タクトタイムは18.5min/25枚 (裏面マクロ含む場合)
 
※ 上記マクロ検査→ミクロ検査の順で検査した場合です。
※ 上記タクトタイムはマッピング時間を除きます。
  (マクロ表裏各5秒・ミクロ9点にて1点あたり2秒)
搬送方式

ツインアーム

電動スライダ組み合わせ

搭載可能キャリア数 ローダ/アンローダ兼用2個

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