顕微鏡ローダー(MWL-04型)
概要・特徴
- 概要
- ウェハのマクロ検査及び、顕微鏡によるミクロ検査を行う装置です。
- ワークサイズ
- φ6、8インチ
- 工程
- パターニング工程
- ウェハ厚み
- 300 ~ 1,000μm
- 業界
- 電子部品
- 素材
- Si(シリコン)
- 特徴1
-
顕微鏡へのウェハ移載を完全自動化
- 特徴2
-
装置上でレシピ作成が可能です。又、ミクロ検査を行いながらレシピ作成と追加を行うことが出来ます。
導入情報・効果
- 導入前~課題~
- 人が介在することで作業時にウェハに破損が見られた。
- 導入後~効果~
- 手作業の取り扱いによるウェハ破損が無くなった。
基本仕様・機械仕様
対象ワーク | Si(シリコン) |
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ワークサイズ | φ6、8インチ |
ワーク厚さ | 300 ~ 1,000μm |
設備形式 | 床設置式 |
設置環境 | Class 100 |
装置寸法 | W1,430 x D1,110 x H1,440 (mm) |
装置重量 | 450kg |
電源電圧 | 単相 100V 50/60Hz共用 |
真空 | 付属 真空ポンプ |
マクロ検査 | 目視検査(裏面含む) |
ミクロ検査 | 顕微鏡検査 |
顕微鏡 | ①オートフォーカス付き
②接眼レンズ x 10
対物レンズ:5/10/20/50/100
③オートフォーカス付き
④FULL HD カメラ付き |
タクトタイム | ① タクトタイムは16min/25枚 (裏面マクロ含まない場合)
② タクトタイムは18.5min/25枚 (裏面マクロ含む場合)
※ 上記マクロ検査→ミクロ検査の順で検査した場合です。
※ 上記タクトタイムはマッピング時間を除きます。
(マクロ表裏各5秒・ミクロ9点にて1点あたり2秒) |
搬送方式 | ツインアーム 電動スライダ組み合わせ |
搭載可能キャリア数 | ローダ/アンローダ兼用2個 |