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ウェハ厚さ測定機(TME-13型)

ウェハ厚さ測定機(TME-13型)

ウェハ厚さ測定機(TME-13型)
ウェハ厚さ測定機(TME-13型)

概要・特徴

概要
ウェハの厚さ測定する装置で、厚さ測定は、レシピによる多点測定を行います。
ワークサイズ
φ4、5、6、8インチ
工程
エッジング工程
ウェハ厚み
150 ~ 1,300μm
業界
電子部品
素材
Si(シリコン)
特徴1
他社同等機能を持ちながら安価に提供できます。
必要機器を絞り込み低コストでの提供も可能です。
特徴2
ベルヌーイ方式のハンドを用いて薄物ウェハの搬送も可能です。搬送部はφ4インチ、5インチ、6インチ兼用ハンドとφ8インチ専用ハンドを搭載し段取替え不要での運用が可能です。
特徴3
カセット搭載数、アライメント機構追加、搬送部追加により、低コストでパフォーマンスに優れた装置仕様となっております。

導入情報・効果

導入前~課題~
作業者により測定のばらつきが発生。
導入後~効果~
作業者による測定精度の誤差が解消された。

基本仕様・機械仕様

対象ワーク Si(シリコン)
ワークサイズ φ4、5、6、8インチ
ワーク厚さ 150 ~ 1,300μm
設備形式 床設置式
設置環境 Class 1000
装置寸法 W1,500D1,100H1,960 (mm)
装置重量 500kg
電源電圧 単相 200V 50/60Hz共用
圧空 0.5MPa以上
真空 付属 真空ポンプ
測定センサ 分光干渉センサ
測定精度
繰り返し10回
標準偏差 0.2μm以下
測定ポイント レシピ多点測定
タクトタイム
φ6インチ 十字5点測定
40sec/枚

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