ウェハ厚さ測定機(TME-13型)
概要・特徴
- 概要
- ウェハの厚さ測定する装置で、厚さ測定は、レシピによる多点測定を行います。
- ワークサイズ
- φ4、5、6、8インチ
- 工程
- エッジング工程
- ウェハ厚み
- 150 ～ 1,300μm
- 業界
- 電子部品
- 素材
- Si（シリコン）
- 特徴1
-
他社同等機能を持ちながら安価に提供できます。
必要機器を絞り込み低コストでの提供も可能です。
- 特徴2
- ベルヌーイ方式のハンドを用いて薄物ウェハの搬送も可能です。搬送部はφ4インチ、5インチ、6インチ兼用ハンドとφ8インチ専用ハンドを搭載し段取替え不要での運用が可能です。
- 特徴3
- カセット搭載数、アライメント機構追加、搬送部追加により、低コストでパフォーマンスに優れた装置仕様となっております。
導入情報・効果
- 導入前～課題～
- 作業者により測定のばらつきが発生。
- 導入後～効果～
- 作業者による測定精度の誤差が解消された。
基本仕様・機械仕様
| 対象ワーク | Si（シリコン） |
|---|---|
| ワークサイズ | φ4、5、6、8インチ |
| ワーク厚さ | 150 ～ 1,300μm |
| 設備形式 | 床設置式 |
| 設置環境 | Class 1000 |
| 装置寸法 | W1,500 x D1,100 x H1,960 (mm) |
| 装置重量 | 500kg |
| 電源電圧 | 単相 200V 50/60Hz共用 |
| 圧空 | 0.5MPa以上 |
| 真空 | 付属 真空ポンプ |
| 測定センサ | 分光干渉センサ |
| 測定精度 | 繰り返し10回
標準偏差 0.2μm以下 |
| 測定ポイント | レシピ多点測定 |
| タクトタイム | φ6インチ 十字5点測定
40sec/枚 |
