ウェハ厚さ測定機(TME-02型)
概要・特徴
- 概要
- φ12インチウェハをカセットから取り出し、設定したポイントの厚さを測定する装置です。
- ワークサイズ
- φ12インチ
- 工程
- ポリッシング工程
- ウェハ厚み
- 600 ~ 780μm
- 業界
- 電子部品
- 素材
- Si(シリコン)
- 特徴1
- φ12インチウェハを静電容量センサーにより非接触にて多点の厚さ測定が可能です。
- 特徴2
- ウェハはエッジクランプにて取扱い、裏表面には接触致しません。
- 特徴3
- 測定したデータは、付属パソコンのエクセル上に保存されます。
導入情報・効果
- 導入前~課題~
- 作業者により測定のばらつきが発生。
- 導入後~効果~
- 作業者による測定精度の誤差が解消された。
基本仕様・機械仕様
対象ワーク | Si(シリコン) |
---|---|
ワークサイズ | φ12インチ |
ワーク厚さ | 600 ~ 780μm |
設備形式 | 床設置式 |
設置環境 | Class 1000 |
装置寸法 | W1,450 x D1,000 x H1,570 (mm) |
装置重量 | 400kg |
電源電圧 | 単相 100V 50/60Hz共用 |
圧空 | 0.5MPa以上 |
測定センサ | 静電容量センサ |
測定精度 | 繰り返し10回
標準偏差 0.2μm以下 |
測定ポイント | 中心1点、十字5、9点測定 |
タクトタイム | φ12インチ 十字5点測定
60sec/枚 |