ウェハ厚さ測定,"> ウェハ厚さ測定機(TME-02型)

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ウェハ厚さ測定機(TME-02型)

ウェハ厚さ測定機(TME-02型)

ウェハ厚さ測定機(TME-02型)

概要・特徴

概要
φ12インチウェハをカセットから取り出し、設定したポイントの厚さを測定する装置です。
ワークサイズ
φ12インチ
工程
ポリッシング工程
ウェハ厚み
600 ~ 780μm
業界
電子部品
素材
Si(シリコン)
特徴1
φ12インチウェハを静電容量センサーにより非接触にて多点の厚さ測定が可能です。
特徴2
ウェハはエッジクランプにて取扱い、裏表面には接触致しません。
特徴3
測定したデータは、付属パソコンのエクセル上に保存されます。

導入情報・効果

導入前~課題~
作業者により測定のばらつきが発生。
導入後~効果~
作業者による測定精度の誤差が解消された。

基本仕様・機械仕様

対象ワーク Si(シリコン)
ワークサイズ φ12インチ
ワーク厚さ 600 ~ 780μm
設備形式 床設置式
設置環境 Class 1000
装置寸法 W1,450 x D1,000 x H1,570 (mm)
装置重量 400kg
電源電圧 単相 100V 50/60Hz共用
圧空 0.5MPa以上
測定センサ 静電容量センサ
測定精度
繰り返し10回
標準偏差 0.2μm以下
測定ポイント 中心1点、十字5、9点測定
タクトタイム
φ12インチ 十字5点測定
60sec/枚

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